太阳能电池厂处理PECVD废气用什么方法好

　　太阳能电池厂处理PECVD废气用什么方法好

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　　硅烷燃烧塔主要处理PECVD废气。

　　处理工艺：PECVD废气通过管道进入硅烷燃烧塔的硅烷燃烧室，同时通入一定量的压缩空气。硅烷在常温空气中即可自燃，硅烷燃烧后的温度约500℃～600℃可引起氢气燃烧。因此，在燃烧塔的硅烷燃烧筒内，硅烷和氢气首先被燃烧处理，燃烧反应方程式为：

　　燃烧后的废气经由重力沉降室，大部分燃烧生成的SiO2等粉尘经过沉降，废气流速降低再进入硅烷燃烧塔的氨气洗涤塔。氨气洗涤塔中装有填料，塔顶喷洒的酸性洗涤水。氨气被酸液化学吸收，一般可能保证氨气80％以上的去除率。

　　燃烧筒中废气燃烧产生的SiO2粉尘从底部的排渣口排出。为保证填料塔的去除效率，洗涤液定期更换，更换后的废水进污水处理设施进行处理，见图2。

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